WAFER厚度自动测量分为接触及非接触式测量，可以自动测量陶瓷盘上wafer厚度；

1、检测陶瓷盘范围：3片、5片、7片、9片，可拓展；

2、检测厚度范围：0μm-1500μm

3、厚度检测重复精度：±1μm（接触）、0.5(非接触）。

4、标准盘校验误差：±2μm（校验材质与被检测材质一致）

5、检测准确性：≥99.5%

6、分辨率：0.1μm（接触）、0.01μm（非接触）